Welke regeling corrigeert automatisch de procesvoorwaarden van de apparatuur voor het volgende lot of de volgende wafer op basis van onder meer de meetresultaten van het voorgaande proces?

Antwoord: C. APC (zoals run-to-run-regeling)

APC (Advanced Process Control) is een regeling die met meetgegevens de voorwaarden van de apparatuur automatisch aanpast om de procesvariatie te verkleinen. Bij de gangbare run-to-run-regeling wordt bijvoorbeeld de tijd van de volgende CMP-stap verlengd als de in het voorgaande proces gemeten laagdikte te groot is. In tegenstelling tot SPC, dat afwijkingen bewaakt en stopt, corrigeert dit actief en brengt het naar het midden. FMEA wordt gebruikt voor risicobeoordeling vooraf en paretoanalyse voor het vinden van prioritaire items.