Wat is SPC (statistische procesbeheersing)?

Antwoord: C. APC (zoals run-to-run-regeling)

APC (Advanced Process Control) is een regeling die met meetgegevens de voorwaarden van de apparatuur automatisch aanpast om de procesvariatie te verkleinen. Bij de gangbare run-to-run-regeling wordt bijvoorbeeld de tijd van de volgende CMP-stap verlengd als de in het voorgaande proces gemeten laagdikte te groot is. In tegenstelling tot SPC, dat afwijkingen bewaakt en stopt, corrigeert dit actief en brengt het naar het midden. FMEA wordt gebruikt voor risicobeoordeling vooraf en paretoanalyse voor het vinden van prioritaire items.

Antwoord: B. Meting van de werkomgeving

Meting van de werkomgeving is het meten van de concentratie van schadelijke stoffen in de lucht van de werkplek om te beoordelen of een omgeving die de gezondheid van werknemers beschermt, wordt gehandhaafd. In Japan zijn de werkplekken waarvoor dit geldt en de meetfrequentie vastgelegd in de wet op de arbeidsveiligheid en gezondheid, en de metingen worden uitgevoerd door gekwalificeerde meetdeskundigen. De uitkomsten worden beoordeeld in beheerklassen en bij slechte uitkomsten worden maatregelen genomen, zoals verbetering van de lokale afzuiging. Productinspectie en SPC zijn methoden voor kwaliteitsbeheer.