Methode waarbij de mogelijke faalwijzen van een product of proces worden geïnventariseerd, hun effecten en ernst worden beoordeeld en vooraf maatregelen worden genomen.
Japanse benaming: FMEA(故障モード影響解析)
“FMEA (failure mode and effects analysis)” komt voor in 3 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Opbrengst en kwaliteitsbeheersing, Metrologie en analyse.
Vakgebied: Opbrengst en kwaliteitsbeheersing
Antwoord: B. Gauge R&R (meetsysteemanalyse)
De spreiding van meetwaarden bevat naast de spreiding van het proces zelf ook de spreiding van het meetinstrument. Bij gauge R&R worden de spreiding bij herhaald meten van hetzelfde monster (herhaalbaarheid) en de spreiding bij wisseling van operator of apparaat (reproduceerbaarheid) beoordeeld. Als richtlijn geldt dat een meetspreiding van minder dan 10% van het toegestane bereik goed is, en dat boven 30% de meting niet bruikbaar is voor procesbeheersing. Paretoanalyse en FMEA zijn methoden met een ander doel.
Antwoord: C. APC (zoals run-to-run-regeling)
APC (Advanced Process Control) is een regeling die met meetgegevens de voorwaarden van de apparatuur automatisch aanpast om de procesvariatie te verkleinen. Bij de gangbare run-to-run-regeling wordt bijvoorbeeld de tijd van de volgende CMP-stap verlengd als de in het voorgaande proces gemeten laagdikte te groot is. In tegenstelling tot SPC, dat afwijkingen bewaakt en stopt, corrigeert dit actief en brengt het naar het midden. FMEA wordt gebruikt voor risicobeoordeling vooraf en paretoanalyse voor het vinden van prioritaire items.
Paretoanalyse en FMEA zijn methoden met een ander doel.
Welke methode beoordeelt of herhaalbaarheid en reproduceerb…FMEA wordt gebruikt voor risicobeoordeling vooraf en paretoanalyse voor het vinden van prioritaire items.
Welke regeling corrigeert automatisch de procesvoorwaarden …FMEA is een methode waarbij per onderdeel of proces de mogelijke faalwijzen worden opgesomd, de ernst van het effect, de optredensfrequentie en de detecteerbaarheid elk met een score worden beoordeeld, en met een vermenigvuldiging daarvan, zoals het risicoprioriteitsgetal, wordt bepaald welke items met voorrang maatregelen vereisen.
Welke methode brengt mogelijke faalwijzen van een product o…APC (advanced process control) CMP SPC (statistische procesbeheersing) Risicobeoordeling (risk assessment) Paretodiagram Killer defect Oorzaak-gevolgdiagram Opbrengst (yield) Poisson-yieldmodel Procescapabiliteitsindex (Cpk)