Welke functie fotografeert bij inspectie gevonden defecten met SEM en classificeert automatisch het defecttype uit het beeld?

Antwoord: B. Automatische defectclassificatie (ADC)

Een defectinspectieapparaat kan op één wafer enkele duizenden defecten detecteren, en om de oorzaak van elk te onderzoeken is classificatie naar type nodig. Automatische defectclassificatie (ADC) classificeert uit beelden van de review-SEM automatisch naar deeltjes, patroondefecten, krassen enz., en versnelt zo het vaststellen van het veroorzakende proces of apparaat. Tegenwoordig wordt ook machine learning ingezet. ATPG is het genereren van testpatronen en APC de automatische procesregeling.