Was ist APC (fortgeschrittene Prozessregelung)?

Automatisches Anpassen der Prozesseinstellungen für das nächste Los oder den nächsten Wafer anhand früherer Messungen, etwa bei der Run-to-Run-Regelung. Es verringert die Streuung.

Japanische Bezeichnung: APC(先進的プロセス制御)

Fachgebiet: Ausbeute und Qualitätskontrolle

Verwandte Begriffe

Ausbeute (Yield) FMEA (Fehlermöglichkeits- und Einflussanalyse) Killerdefekt (killer defect) Pareto-Diagramm Poisson-Ausbeutemodell (Poisson yield model) Prozessfähigkeitsindex (Cpk) Qualitätsregelkarte SPC (statistische Prozesslenkung, statistical process control) Systematischer Defekt Ursache-Wirkungs-Diagramm (Ishikawa)

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