Defect dat een chip onbruikbaar maakt. Bijvoorbeeld deeltjes of patroonafwijkingen met een grootte of positie die kortsluiting of onderbreking van de bedrading veroorzaken.
Japanse benaming: キラー欠陥
“Killer defect” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Opbrengst en kwaliteitsbeheersing.
Vakgebied: Opbrengst en kwaliteitsbeheersing
Antwoord: A. Killer defect
Niet elk bij inspectie gevonden defect leidt tot een defect product. Een defect dat een elektrisch defect veroorzaakt, zoals een groot vreemd deeltje dat zich over meerdere verbindingen uitstrekt, heet een killer defect. Uit de grootte, positie en laag van het defect wordt de kill ratio (het aandeel dat defect wordt) geschat om de invloed op de yield te voorspellen. Defecten die geen uitval veroorzaken en valse defecten die de inspectieapparatuur ten onrechte registreert, heten nuisance defects.
Een defect dat een elektrisch defect veroorzaakt, zoals een groot vreemd deeltje dat zich over meerdere verbindingen uitstrekt, heet een killer defect.
Hoe heet een defect op de wafer dat daadwerkelijk een elekt…Opbrengst (yield) APC (advanced process control) FMEA (failure mode and effects analysis) Oorzaak-gevolgdiagram Paretodiagram Poisson-yieldmodel Procescapabiliteitsindex (Cpk) Regelkaart (control chart) SPC (statistische procesbeheersing) Systematische defecten