Was ist Feuchte Oxidation?
Thermische Oxidation in wasserdampfhaltiger Atmosphäre. Sie wächst schneller als die trockene Oxidation und dient der Herstellung dicker Oxide.
Japanische Bezeichnung: ウェット酸化
Fachgebiet: Oxidation und Diffusion
Verwandte Begriffe
Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung) STI (Shallow-Trench-Isolation)