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Qu'est-ce que Parcours projeté ?

Profondeur moyenne à laquelle les ions implantés s'arrêtent. Elle augmente avec l'énergie d'accélération et lorsque les ions sont plus légers.

Nom japonais: 投影飛程

« Parcours projeté » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Implantation ionique.

Domaine: Implantation ionique

S'entraîner : questions sur Parcours projeté

Quelle combinaison est correcte pour la distribution approchant le profil en profondeur des impuretés après implantation ionique et la grandeur désignant la profondeur de son pic ?

  1. ADistribution uniforme, avec un pic toujours en surface
  2. BDistribution gaussienne, la profondeur du pic étant appelée parcours projeté (Rp)
  3. CDistribution exponentielle, la profondeur du pic étant appelée longueur de diffusion
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Réponse : B. Distribution gaussienne, la profondeur du pic étant appelée parcours projeté (Rp)

Le profil des impuretés implantées est approximativement gaussien ; la profondeur du pic est le parcours projeté Rp et l'étalement l'écart-type ΔRp. La concentration au pic s'estime à environ « dose ÷ (2,5 × ΔRp) ». Rp et ΔRp dépendent de l'énergie d'accélération et des espèces ionique et de substrat, et sont tabulés. En pratique, le profil peut être asymétrique ou présenter une queue profonde due à la canalisation ; on utilise donc des fonctions de distribution plus précises ou la simulation.

« Parcours projeté » dans les explications

Questions mentionnant « Parcours projeté » (1)

  1. Quelle combinaison est correcte pour la distribution approchant le profil en profondeur des impuretés après implantation ionique et la grandeur désignant la profondeur de son pic ?

Termes associés

Implantation ionique Dose Canalisation (channeling) Cage de Faraday Caisson rétrograde (retrograde well) Diffusion accélérée transitoire (TED) Dopage plasma Effet d'ombrage (shadowing) Implantation halo (implantation poche) Pré-amorphisation par implantation (PAI)

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