とうえいひてい
注入したイオンが止まる深さの平均。加速エネルギーが大きいほど深く、イオンが軽いほど深くなる。
일본어 명칭: 投影飛程
분야: 이온 주입
固溶度 過渡増速拡散(TED) アニール イオン注入 シャドウイング スパイクアニール チャネリング ドーズ量 ハロー注入(ポケット注入) ファラデーカップ
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