Lors d'une implantation sur plaquette inclinée, apparition de zones non implantées dans l'ombre de motifs hauts comme la résine.
Nom japonais: シャドウイング
« Effet d'ombrage (shadowing) » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Dépôt (CVD et PVD).
Domaine: Implantation ionique
Réponse : B. Les atomes arrivant presque en ligne droite atteignent difficilement les zones non visibles depuis l'entrée de la tranchée
En PVD, les atomes issus de la cible ou de la source d'évaporation se déplacent presque en ligne droite, se fixent au substrat et migrent très peu en surface. Le film se dépose donc facilement sur le dessus et à l'entrée des tranchées, mais atteint difficilement les flancs et le fond, non visibles depuis l'entrée (effet d'ombrage). Le CVD et l'ALD, dont le gaz précurseur pénètre jusqu'au fond et dont le dépôt résulte d'une réaction chimique de surface, offrent une meilleure couverture de marche.
Le film se dépose donc facilement sur le dessus et à l'entrée des tranchées, mais atteint difficilement les flancs et le fond, non visibles depuis l'entrée (effet d'ombrage).
En PVD (pulvérisation, évaporation), quelle est la principa…CVD ALD Précurseur Couverture de marche (step coverage) Cage de Faraday Caisson rétrograde (retrograde well) Canalisation (channeling) Diffusion accélérée transitoire (TED) Dopage plasma Dose