Was ist Projizierte Reichweite?
Die mittlere Tiefe, in der implantierte Ionen zur Ruhe kommen. Sie ist bei höherer Beschleunigungsenergie und bei leichteren Ionen größer.
Japanische Bezeichnung: 投影飛程
Fachgebiet: Ionenimplantation
Verwandte Begriffe
Abschattung (Shadowing) Ausheilen (Annealing) Channeling (Kanaleffekt) Faraday-Becher (Faraday Cup) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Ionenimplantation Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping)