Phénomène où des ions passent entre les rangées d'atomes du cristal et pénètrent plus profondément que prévu. On l'évite notamment en inclinant la plaquette lors de l'implantation.
Nom japonais: チャネリング
« Canalisation (channeling) » apparaît dans 7 questions d'entraînement réparties sur 3 thèmes, dont Implantation ionique, Environnement, santé et sécurité, Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques).
Domaine: Implantation ionique
Réponse : C. Incliner le wafer de quelques degrés par rapport à l'axe cristallin lors de l'implantation
Lorsque les ions entrent dans l'alignement des rangées atomiques du cristal, ils passent par les interstices entre rangées (canaux), subissent peu de collisions et pénètrent plus profondément que prévu (canalisation). On la limite en inclinant le wafer d'environ 7° par rapport à l'axe cristallin et en décalant aussi la rotation, en implantant à travers un oxyde mince en surface (oxyde écran) qui disperse les directions, ou en amorphisant préalablement la surface. La queue profonde du profil diminue et la jonction devient moins profonde.
Lorsque les ions entrent dans l'alignement des rangées atomiques du cristal, ils passent par les interstices entre rangées (canaux), subissent peu de collisions et pénètrent plus profondément que prévu (canalisation).
Quelle méthode est couramment utilisée pour limiter la cana…En pratique, le profil peut être asymétrique ou présenter une queue profonde due à la canalisation ; on utilise donc des fonctions de distribution plus précises ou la simulation.
Quelle combinaison est correcte pour la distribution approc…En implantant d'abord des ions lourds comme le germanium ou le silicium pour rendre la surface amorphe sur quelques dizaines de nm, l'ordre atomique disparaît, ce qui limite la canalisation du bore implanté ensuite et permet de réaliser une jonction peu profonde.
Quel est l'objectif de l'implantation de pré-amorphisation …Lorsqu'on implante avec un wafer incliné, pour contrer la canalisation ou pour les halos, les ions n'atteignent pas les zones situées dans l'ombre de résines ou de grilles hautes (ombrage).
Comment appelle-t-on le phénomène par lequel, lors d'une im…La purge cyclique consiste à répéter plusieurs fois la mise sous pression de la canalisation par un gaz inerte comme l'azote, suivie d'un pompage ou d'une évacuation, pour diluer et chasser le gaz résiduel et l'humidité.
Comment appelle-t-on l'opération qui répète plusieurs fois …Implantation ionique Parcours projeté Dose Pré-amorphisation par implantation (PAI) Recuit Arsine (AsH3) Phosphine (PH3) Cage de Faraday Caisson rétrograde (retrograde well) Diffusion accélérée transitoire (TED)