Gaz utilisé notamment pour le nettoyage des chambres des équipements CVD. Son potentiel de réchauffement global étant élevé, la réduction de ses émissions est requise.
Nom japonais: NF3(三フッ化窒素)
« NF3 (trifluorure d'azote) » apparaît dans 5 questions d'entraînement réparties sur 3 thèmes, dont Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques), Environnement, santé et sécurité, CMP et nettoyage.
Réponse : C. Nettoyage des films déposés à l'intérieur des chambres des équipements de CVD
La répétition des dépôts CVD dépose aussi du film sur les parois internes de la chambre, qui s'écaille et génère des particules. Les radicaux fluor obtenus en décomposant le NF3 par plasma transforment ces dépôts en fluorures volatils et les éliminent. La méthode dominante est le plasma déporté, qui génère le plasma hors de la chambre et n'y envoie que les radicaux, ce qui limite l'endommagement des pièces. Le potentiel de réchauffement global du NF3 étant environ 16 000 fois celui du CO2, il est décomposé dans des systèmes d'abattement avant rejet.
Les radicaux fluor obtenus en décomposant le NF3 par plasma transforment ces dépôts en fluorures volatils et les éliminent.
Quel est l'usage principal du trifluorure d'azote (NF3) ?Le nettoyage en phase vapeur (à sec), utilisant par exemple de la vapeur de fluorure d'hydrogène ou des radicaux produits par un plasma NF3/NH3 (traitement SiCoNi), n'emploie aucun liquide ; il n'y a pas de risque d'effondrement, et l'équipement peut être relié sous vide à l'équipement de dépôt pour passer à l'étape suivante sans réoxydation.
Quelle méthode élimine l'oxyde natif ou autres films de sur…La phosphine et le NF3 sont des gaz spéciaux utilisés seulement dans certaines étapes.
Quel gaz, parmi les plus consommés dans les usines de semi-…Dans une usine de semi-conducteurs, le scope 1 comprend, outre la combustion de carburants, les émissions de gaz de procédé comme les PFC ou le NF3, dont la quantité dépend de l'efficacité de décomposition des systèmes d'abattement.
Dans le calcul des émissions de gaz à effet de serre d'une …Le plasma déporté décompose le NF3 hors de l'équipement avec un rendement supérieur à 95 % et n'envoie que les radicaux fluor dans la chambre, ce qui réduit fortement les émissions de gaz à effet de serre et limite aussi l'endommagement des pièces de la chambre.
Pour le nettoyage des chambres CVD, quelle méthode a été ad…Plasma CVD Oxyde natif FOUP Sous-oxygénation (anoxie) Phosphine (PH3) Gaz spéciaux Rendement (yield) Arsine (AsH3) Débitmètre massique régulateur (MFC)