Gaz de haute pureté, toxiques ou inflammables, utilisés en fabrication de semi-conducteurs, comme le silane, l'arsine ou la phosphine. Ils sont fournis sous contrôle strict.
Nom japonais: 特殊材料ガス
« Gaz spéciaux » apparaît dans 4 questions d'entraînement réparties sur 3 thèmes, dont Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques), Environnement, santé et sécurité, Salles blanches et équipements.
Réponse : B. Les placer dans des armoires à bouteilles ventilées et surveiller les fuites par des détecteurs de gaz
Les bouteilles de gaz spéciaux sont placées dans des armoires à bouteilles ventilées en permanence, et les fuites sont surveillées par des détecteurs de gaz. En cas de détection, une vanne d'isolement se ferme automatiquement et une alarme est déclenchée. Le remplacement des bouteilles est effectué par du personnel formé selon une procédure, avec purge des canalisations avant et après. On ne les place jamais près du poste de l'opérateur et on ne les utilise jamais sans raccordement.
Les bouteilles de gaz spéciaux sont placées dans des armoires à bouteilles ventilées en permanence, et les fuites sont surveillées par des détecteurs de gaz.
Quelle manipulation courante des bouteilles de gaz spéciaux…Les gaz spéciaux pour semi-conducteurs exigent souvent une pureté de 6N ou plus.
Quelle pureté correspond à la notation « 6N » pour un gaz ?La phosphine et le NF3 sont des gaz spéciaux utilisés seulement dans certaines étapes.
Quel gaz, parmi les plus consommés dans les usines de semi-…Les gaz d'échappement des équipements de dépôt et de gravure contiennent des gaz spéciaux n'ayant pas réagi et des sous-produits dangereux.
Pour les équipements de procédé sous vide, quel dispositif …FOUP Sous-oxygénation (anoxie) Phosphine (PH3) NF3 (trifluorure d'azote) Plasma FFU (unité de filtration ventilée) EFEM Arsine (AsH3) Débitmètre massique régulateur (MFC) Eau ultrapure