Appareil qui, dans les équipements de dépôt ou de gravure, mesure précisément le débit massique d'un gaz et le maintient à la valeur de consigne.
Nom japonais: マスフローコントローラ(MFC)
« Débitmètre massique régulateur (MFC) » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques).
Réponse : A. Le régulateur de débit massique (MFC)
Le régulateur de débit massique mesure le débit massique du gaz par un capteur et ajuste une vanne intégrée pour le maintenir à la consigne. Dans le type thermique courant, le débit se déduit de la différence de chaleur transportée par le gaz circulant dans un tube capillaire. L'unité de débit couramment utilisée est le sccm (cm³ par minute aux conditions standard). La vitesse de dépôt, la composition des films et la sélectivité de gravure variant fortement avec le débit, chaque ligne de gaz est équipée d'un MFC.
La vitesse de dépôt, la composition des films et la sélectivité de gravure variant fortement avec le débit, chaque ligne de gaz est équipée d'un MFC.
Quel équipement mesure précisément le débit de gaz et le ma…Débit (throughput) Sélectivité Arsine (AsH3) Eau ultrapure Gaz spéciaux NF3 (trifluorure d'azote) Phosphine (PH3) Précurseur Silane (SiH4) TMAH