Was ist NF3 (Stickstofftrifluorid)?

Gas, das unter anderem zur Reinigung von CVD-Kammern dient. Sein Treibhauspotenzial ist hoch, daher ist eine Verringerung der Emissionen erforderlich.

Japanische Bezeichnung: NF3(三フッ化窒素)

Fachgebiet: Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien)

Verwandte Begriffe

Arsin (AsH3) Massendurchflussregler (MFC) Monosilan (SiH4) Phosphin (PH3) Präkursor (precursor) Reinstwasser Spezialgase (specialty gases) TMAH

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