Pour le nettoyage des chambres CVD, quelle méthode a été adoptée dans l'optique de réduire les émissions de PFC ?

Réponse : B. Le plasma déporté, qui décompose le NF3 par plasma hors de l'équipement et nettoie efficacement avec les radicaux fluor produits

Autrefois, on nettoyait en transformant en plasma des PFC comme le C2F6 dans la chambre, mais une grande quantité était émise sans être décomposée. Le plasma déporté décompose le NF3 hors de l'équipement avec un rendement supérieur à 95 % et n'envoie que les radicaux fluor dans la chambre, ce qui réduit fortement les émissions de gaz à effet de serre et limite aussi l'endommagement des pièces de la chambre. On n'augmente pas le C2F6 et l'on ne cesse pas le nettoyage.