Recuit dans un mélange d'hydrogène et d'azote (gaz de formage). L'hydrogène passive les liaisons pendantes à l'interface Si/SiO2 et réduit les états d'interface.
Nom japonais: フォーミングガスアニール
« Recuit sous gaz de formage (forming gas) » apparaît dans 2 questions d'entraînement réparties sur 2 thèmes, dont Oxydation et diffusion, Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques).
Domaine: Oxydation et diffusion
Réponse : B. Recuit sous forming gas
À l’interface Si/SiO2 subsistent environ 10¹¹ à 10¹² cm⁻²eV⁻¹ d’états d’interface dus aux atomes de silicium à liaisons pendantes. Un traitement thermique vers 400 à 450 ℃ dans un mélange d’hydrogène et d’azote (forming gas, quelques % d’hydrogène) lie l’hydrogène aux liaisons pendantes et réduit les états d’interface à environ 10¹⁰ cm⁻²eV⁻¹, ce qui améliore la stabilité de la tension de seuil, la caractéristique sous le seuil et la mobilité. Ce traitement est souvent effectué à la fin des étapes d’interconnexion.
Réponse : B. L'hydrogène (H2)
L'hydrogène sert de gaz porteur transportant les précurseurs de la croissance épitaxiale, et d'atmosphère réductrice éliminant à haute température l'oxyde natif de surface avant la croissance. Le recuit sous forming gas, de l'hydrogène à quelques % dilué dans l'azote, passive par l'hydrogène les liaisons pendantes de l'interface Si/SiO2 et réduit les états d'interface. Au-delà d'environ 4 % dans l'air, il présente un risque d'explosion et s'utilise sous détection de fuite. L'ozone et le chlore sont des gaz oxydants.
Un traitement thermique vers 400 à 450 ℃ dans un mélange d’hydrogène et d’azote (forming gas, quelques % d’hydrogène) lie l’hydrogène aux liaisons pendantes et réduit les états d’interface à environ 10¹⁰ cm⁻²eV⁻¹, ce qui améliore la stabilité de la tension de seuil, la caractéristique sous le seuil et la mobilité.
Comment s’appelle le traitement thermique sous atmosphère h…Le recuit sous forming gas, de l'hydrogène à quelques % dilué dans l'azote, passive par l'hydrogène les liaisons pendantes de l'interface Si/SiO2 et réduit les états d'interface.
Quel gaz est utilisé comme gaz porteur ou atmosphère réduct…Tension de seuil Mobilité Croissance épitaxiale Oxyde natif Recuit États d'interface Bec d'oiseau (bird's beak) Diffusion accélérée par oxydation (OED) Diffusion thermique Ions mobiles