Was ist Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal)?

Wärmebehandlung in einem Gemisch aus Wasserstoff und Stickstoff (Formiergas). Wasserstoff sättigt offene Bindungen an der Si/SiO2-Grenzfläche ab und verringert Grenzflächenzustände.

Japanische Bezeichnung: フォーミングガスアニール

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung) STI (Shallow-Trench-Isolation)

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