Comment appelle-t-on le phénomène par lequel, lors d'une implantation avec wafer incliné, certaines zones situées dans l'ombre de motifs hauts comme la résine ne sont pas implantées ?

Réponse : C. Ombrage (shadowing)

Lorsqu'on implante avec un wafer incliné, pour contrer la canalisation ou pour les halos, les ions n'atteignent pas les zones situées dans l'ombre de résines ou de grilles hautes (ombrage). La zone implantée devient asymétrique, ce qui différencie les caractéristiques du transistor côté source et côté drain. On y remédie par exemple en tournant le wafer par pas de 90° pour implanter depuis 4 directions (mode quad), et en concevant conjointement la hauteur de résine et l'angle d'inclinaison.