チャネリング란?

ちゃねりんぐ

イオンが結晶の原子の並びのすき間を通り抜けて、予想より深くまで入り込む現象。ウエハを傾けて注入するなどして防ぐ。

일본어 명칭: チャネリング

분야: 이온 주입