Was ist Channeling (Kanaleffekt)?

Ein Phänomen, bei dem Ionen durch Lücken zwischen Reihen von Kristallatomen laufen und tiefer als erwartet eindringen. Es wird unter anderem durch Kippen des Wafers während der Implantation verhindert.

Japanische Bezeichnung: チャネリング

Fachgebiet: Ionenimplantation

Verwandte Begriffe

Abschattung (Shadowing) Ausheilen (Annealing) Faraday-Becher (Faraday Cup) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Ionenimplantation Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping) Projizierte Reichweite

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