Comment s’appelle l’approche qui combine les données de plusieurs méthodes de mesure différentes (optique, CD-SEM, AFM, etc.) pour déterminer les dimensions et la forme plus précisément qu’avec une seule méthode ?

Réponse : B. Métrologie hybride

Pour les structures fines avancées, une seule méthode de mesure est limitée quant aux grandeurs mesurables et à la précision. La métrologie hybride compense les faiblesses de chaque méthode pour obtenir des résultats plus précis, par exemple en injectant comme valeur fixe dans le modèle d’analyse de la mesure optique de dimensions (OCD) une épaisseur déterminée précisément par XRR, afin d’obtenir de façon stable les autres paramètres de forme. Il importe d’identifier les grandeurs où chaque méthode excelle pour les combiner.