Métrologie et analyse
Quel est le principe du microscope électronique à balayage (SEM) ?
- AUn faisceau d’électrons finement focalisé balaie la surface de l’échantillon, et la détection des électrons secondaires émis permet d’observer la topographie de surface
- BÉtudier la structure cristalline à partir de la diffraction des rayons X
- CMesurer l’épaisseur d’un film à partir des interférences lumineuses
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Réponse : A. Un faisceau d’électrons finement focalisé balaie la surface de l’échantillon, et la détection des électrons secondaires émis permet d’observer la topographie de surface
Le SEM balaie la surface de l’échantillon avec un faisceau d’électrons finement focalisé et forme une image en détectant les électrons secondaires et rétrodiffusés émis. Les électrons secondaires, de faible énergie, ne peuvent s’échapper que d’une très faible profondeur et rendent bien le relief ; les électrons rétrodiffusés, plus nombreux pour les éléments lourds, révèlent les différences de composition. La résolution est d’environ 1 nm. En usine, le CD-SEM, qui mesure à basse tension d’accélération la largeur des motifs, sert au contrôle des procédés. La diffraction X et les interférences lumineuses sont d’autres méthodes.