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Lithographie

Que signifie la « CDU » contrôlée en lithographie ?

  1. ALa tension d'alimentation de l'équipement d'exposition
  2. BLa variation des dimensions des motifs (CD) sur la surface du wafer ou au sein d'un champ
  3. CL'uniformité de couleur de la résine
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Réponse : B. La variation des dimensions des motifs (CD) sur la surface du wafer ou au sein d'un champ

La CD (Critical Dimension) désigne une dimension critique comme la largeur de ligne, et la CDU (CD Uniformity) l'amplitude de sa variation (3σ). Pour les produits avancés, la variation doit être limitée à environ 1 nm pour des largeurs de ligne de quelques dizaines de nm. La variation de CD se répercutant directement sur celle des caractéristiques des transistors, on la réduit en corrigeant la dose au sein du champ ou en uniformisant la distribution de température du PEB. La mesure se fait par CD-SEM ou scatterométrie.

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