Comment s’appelle le phénomène par lequel un motif de résine ArF rétrécit sous l’irradiation électronique lors de sa mesure au CD-SEM ?

Réponse : A. Shrink (retrait de la résine sous faisceau d’électrons)

La résine ArF est sensible aux électrons : l’irradiation nécessaire à la mesure décompose ses molécules, son volume diminue et le motif rétrécit. La valeur changeant à chaque mesure, on réduit la dose ou on corrige à partir d’un retrait déterminé au préalable. La charge est l’accumulation de charges dans un isolant qui déforme l’image, et la dérive le décalage progressif de l’image ou des valeurs de l’équipement au cours du temps ; ni l’une ni l’autre n’est un rétrécissement.