Transistors avancés (FinFET et GAA)
Dans un CFET (FET complémentaire), quelle affirmation sur la connexion au transistor inférieur des deux transistors empilés est correcte ?
- ALe transistor inférieur n'a pas de grille, si bien qu'il suffit de connecter sa source et son drain
- BComme le transistor supérieur se trouve juste au-dessus, les connexions par la face avant doivent le contourner, et l'on étudie une connexion directe au transistor inférieur par la face arrière
- CLes transistors supérieur et inférieur partagent toutes leurs sources et tous leurs drains, si bien que le transistor inférieur n'a besoin d'aucune connexion propre
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Réponse : B. Comme le transistor supérieur se trouve juste au-dessus, les connexions par la face avant doivent le contourner, et l'on étudie une connexion directe au transistor inférieur par la face arrière
Un CFET (FET complémentaire) empile verticalement un nMOS et un pMOS pour réduire la surface des cellules. Les grilles et la sortie peuvent être partagées, mais chaque source doit être reliée à une alimentation différente (VDD et VSS). Pour atteindre le transistor inférieur par la face avant, il faut un contact profond qui contourne le transistor supérieur, ce qui encombre le câblage dans une petite cellule. On étudie donc une connexion directe au transistor inférieur par la face arrière de la plaquette, combinée à l'alimentation par la face arrière ; à l'IEDM 2023, Intel a présenté un inverseur CFET fonctionnel avec des contacts directs par la face arrière vers le transistor inférieur.
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