첨단 트랜지스터(FinFET과 GAA)
CFET(상보형 FET)에서 위아래로 쌓은 트랜지스터 중 아래층 트랜지스터로의 연결에 대해 올바른 것은?
- A아래층 트랜지스터는 게이트가 없으므로 소스와 드레인에만 연결하면 된다
- B바로 위에 위층 트랜지스터가 있으므로 앞면 쪽에서는 위층을 피해 연결을 통과시켜야 하며, 뒷면에서 아래층에 직접 연결하는 방식이 검토되고 있다
- C위아래 트랜지스터는 소스와 드레인을 모두 공유하므로 아래층에 개별 연결은 필요 없다
정답과 해설 보기
정답: B. 바로 위에 위층 트랜지스터가 있으므로 앞면 쪽에서는 위층을 피해 연결을 통과시켜야 하며, 뒷면에서 아래층에 직접 연결하는 방식이 검토되고 있다
CFET(상보형 FET)는 nMOS와 pMOS를 위아래로 쌓아 셀 면적을 줄이는 구조입니다. 위아래의 게이트나 출력은 공유할 수 있지만, 각각의 소스는 서로 다른 전원(VDD와 VSS)에 연결해야 합니다. 앞면 쪽에서 아래층에 연결하려면 위층 트랜지스터를 피해 콘택트를 깊게 통과시켜야 해서, 좁은 셀 안에서 배선이 혼잡해집니다. 그래서 웨이퍼 뒷면에서 아래층에 직접 연결하고 후면 전원 공급과 결합하는 방식이 검토되고 있으며, 2023년 IEDM에서는 Intel이 뒷면에서 아래층에 직접 연결한 CFET 인버터의 동작을 보고했습니다.