Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)
Welke uitspraak over de verbinding met de onderste van de twee gestapelde transistors in een CFET (complementaire FET) is juist?
- ADe onderste transistor heeft geen gate, dus alleen zijn source en drain moeten worden aangesloten
- BOmdat de bovenste transistor er recht boven zit, moeten verbindingen vanaf de voorzijde om de bovenste transistor heen worden geleid, en een rechtstreekse verbinding met de onderste transistor vanaf de achterzijde wordt onderzocht
- CDe bovenste en onderste transistor delen al hun sources en drains, dus de onderste heeft geen eigen verbinding nodig
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Omdat de bovenste transistor er recht boven zit, moeten verbindingen vanaf de voorzijde om de bovenste transistor heen worden geleid, en een rechtstreekse verbinding met de onderste transistor vanaf de achterzijde wordt onderzocht
Een CFET (complementaire FET) stapelt nMOS en pMOS verticaal om de oppervlakte van een cel te verkleinen. De gates en de uitgang kunnen worden gedeeld, maar elke source moet op een andere voeding (VDD en VSS) worden aangesloten. Om de onderste transistor vanaf de voorzijde te bereiken, is een diep contact nodig dat om de bovenste transistor heen loopt, wat de bedrading in een kleine cel verstopt. Daarom wordt onderzocht om de onderste transistor rechtstreeks vanaf de achterzijde van de wafer aan te sluiten, gecombineerd met backside power delivery; op IEDM 2023 meldde Intel een werkende CFET-inverter met rechtstreekse contacten vanaf de achterzijde naar de onderste transistor.
Verder: nog 9 vragen over Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)