CMP et nettoyage
Dans les procédés de nettoyage récents, quel est le principal objectif de la dilution des produits chimiques ou de l'utilisation d'eaux fonctionnelles ?
- ARéduire la consommation de produits chimiques et l'impact environnemental
- BRenforcer systématiquement le pouvoir nettoyant
- CChanger la couleur des plaquettes
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Réponse : A. Réduire la consommation de produits chimiques et l'impact environnemental
Le nettoyage classique utilisait de grandes quantités de produits concentrés ; on cherche désormais à obtenir l'effet nettoyant requis tout en réduisant la consommation de produits et d'eau ultrapure et les effluents, en diluant les produits de quelques dizaines à quelques centaines de fois ou en utilisant des eaux fonctionnelles comme l'eau ozonée ou hydrogénée, ou de l'eau électrolysée. Les usines de semi-conducteurs consommant beaucoup d'eau et de produits, c'est une démarche importante pour réduire les coûts comme l'impact environnemental.