CMP und Reinigung

Welche Kombination aus Reihenfolge und Zweck von SC-1 und SC-2 bei der Standard-RCA-Reinigung ist richtig?

  1. ANach der Entfernung von Partikeln und organischen Stoffen mit SC-1 werden mit SC-2 metallische Verunreinigungen entfernt
  2. BNach der Entfernung von Partikeln mit SC-2 werden mit SC-1 metallische Verunreinigungen entfernt
  3. CSC-1 und SC-2 werden gemischt und gleichzeitig verwendet
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Antwort: A. Nach der Entfernung von Partikeln und organischen Stoffen mit SC-1 werden mit SC-2 metallische Verunreinigungen entfernt

Die RCA-Reinigung wurde 1970 von Kern et al. bei RCA vorgestellt. Grundsätzliche Reihenfolge: Zuerst entfernt das alkalische SC-1 Partikel und organische Stoffe, danach löst das saure SC-2 (HCl:H2O2:H2O) die bei SC-1 leicht anhaftenden metallischen Verunreinigungen als Chloride und entfernt sie. Bei Bedarf wird dazwischen das Oxid mit verdünnter Flusssäure entfernt, und zwischen den Schritten wird mit Reinstwasser gespült. Auch über 50 Jahre später wird sie als Grundlage der Reinigung in weiterentwickelter Form genutzt.

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