CMP와 세정

표준적인 RCA 세정에서 SC-1과 SC-2의 순서와 목적의 조합으로 올바른 것은?

  1. ASC-1로 파티클과 유기물을 제거한 뒤, SC-2로 금속 오염을 제거한다
  2. BSC-2로 파티클을 제거한 뒤, SC-1로 금속 오염을 제거한다
  3. CSC-1과 SC-2를 섞어서 동시에 사용한다
정답과 해설 보기

정답: A. SC-1로 파티클과 유기물을 제거한 뒤, SC-2로 금속 오염을 제거한다

RCA 세정은 1970년 RCA사의 Kern 등이 발표한 방법으로, 먼저 알칼리성 SC-1로 파티클과 유기물을 제거하고, 이어서 산성 SC-2(HCl:H2O2:H2O)로 SC-1에서 부착되기 쉬운 금속 오염을 염화물로 녹여 제거하는 것이 기본 순서입니다. 필요에 따라 중간에 희석 불산으로 산화막을 제거하며, 각 공정 사이에는 초순수로 린스합니다. 50년 넘게 지난 지금도 세정의 기본으로 개량을 거듭하며 사용되고 있습니다.

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