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CMP et nettoyage

Quel est l'ordre de grandeur de la taille des particules abrasives des suspensions de CMP ?

  1. AEnviron quelques mm
  2. BEnviron quelques cm
  3. CEnviron quelques dizaines à une centaine de nm et plus
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Réponse : C. Environ quelques dizaines à une centaine de nm et plus

Les particules abrasives des suspensions de CMP sont très fines, de quelques dizaines à une centaine de nm et plus. Quelques particules de plus de 1 µm par mL de liquide suffisant à provoquer des rayures, on maîtrise strictement non seulement la distribution granulométrique mais aussi le nombre de grosses particules. La forme (sphérique ou irrégulière) et la dureté des particules influent aussi sur la vitesse de polissage et la sensibilité aux rayures ; des particules organiques tendres sont notamment en développement.

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