CMP et nettoyage
En CMP du tungstène, pourquoi ajoute-t-on à la suspension un oxydant comme le peroxyde d'hydrogène ?
- APour transformer la surface du tungstène en un oxyde facile à polir
- BPour faire briller le tungstène
- CPour refroidir la suspension
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Réponse : A. Pour transformer la surface du tungstène en un oxyde facile à polir
Le tungstène est un métal dur, difficile à polir mécaniquement tel quel. Un oxydant comme le peroxyde d'hydrogène ou un sel de fer transforme la surface en oxyde de tungstène tendre, que les particules abrasives éliminent ; ce cycle répété fait progresser le polissage. La vitesse de polissage dépend fortement de la concentration en oxydant, exemple qui illustre bien le rôle de la composante « chimique » du CMP. Il faut par ailleurs limiter l'oxydation et la corrosion des creux.