CMP et nettoyage
Lors du nettoyage et du séchage de motifs à fort rapport d'aspect, quelle est la principale cause de leur effondrement ?
- ALa gravité s'exerçant sur les motifs
- BLa tension superficielle du liquide resté entre les motifs lors de son séchage
- CLa couleur du liquide de nettoyage
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Réponse : B. La tension superficielle du liquide resté entre les motifs lors de son séchage
Si un liquide reste entre des motifs fins et hauts pendant le séchage, la pression de Laplace due à la tension superficielle du ménisque attire les motifs les uns vers les autres, qui s'effondrent ou se collent. Cette force croît lorsque l'espacement diminue et que le rapport d'aspect augmente. Les parades sont le remplacement par l'IPA, de faible tension superficielle, le traitement hydrophobe de la surface (angle de contact proche de 90°) et le séchage au CO2 supercritique, sans interface liquide-gaz.