Was ist Thermische Diffusion?

Ein Dotierverfahren, bei dem Dotieratome bei hoher Temperatur in einen Halbleiter diffundieren. Sie breiten sich von Bereichen hoher zu niedriger Konzentration aus.

Japanische Bezeichnung: 熱拡散

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Vergleiche mit diesem Begriff

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung)

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