Was ist Bewegliche Ionen?

Ionen wie Natrium und Kalium, die sich im Gateoxid bewegen können. Sie driften mit Feld und Temperatur und verschieben die Schwellenspannung. Da sie z. B. aus menschlichem Schweiß stammen können, werden sie streng kontrolliert.

Japanische Bezeichnung: 可動イオン

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung) STI (Shallow-Trench-Isolation)

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