Was ist Grenzflächenzustände?

Energieniveaus in der Bandlücke an einer Halbleiter-Isolator-Grenzfläche, verursacht durch gebrochene Bindungen und ähnliche Defekte. Sie fangen Ladungsträger ein und geben sie frei, was Schwellenspannungsverschiebung, geringere Beweglichkeit und Rauschen verursacht.

Japanische Bezeichnung: 界面準位

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung) STI (Shallow-Trench-Isolation)

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