Was ist LOCOS (lokale Oxidation)?

Ein Verfahren, das Bauelemente isoliert, indem nur die nicht von Nitrid bedeckten Bereiche dick oxidiert werden. An den Rändern entsteht ein schnabelartiges Eindringen (Vogelschnabel); es wurde durch STI ersetzt.

Japanische Bezeichnung: LOCOS

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung) STI (Shallow-Trench-Isolation)

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