Was ist Oxidationsverstärkte Diffusion (OED)?

Schnellere Diffusion von Bor und Phosphor während der Oxidation als ohne, verursacht durch Silizium-Zwischengitteratome, die die Oxidation ins Silizium einbringt.

Japanische Bezeichnung: 酸化増速拡散(OED)

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

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