熱拡散란?
ねつかくさん
高温で不純物原子を半導体の中へ拡散させてドーピングする方法。濃度の高いところから低いところへ広がる。
일본어 명칭: 熱拡散
분야: 산화와 확산
ねつかくさん
高温で不純物原子を半導体の中へ拡散させてドーピングする方法。濃度の高いところから低いところへ広がる。
일본어 명칭: 熱拡散
분야: 산화와 확산
可動イオン 界面準位 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化