Was ist Oxinitrid (SiON)?

Gateoxid mit eingebautem Stickstoff. Es blockiert das Eindringen von Bor aus der Gateelektrode und hat eine etwas höhere Permittivität; daher diente es vor High-k-Schichten als Gateisolator.

Japanische Bezeichnung: 酸窒化膜(SiON)

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

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