Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welche Ausgangsgase werden zur Einbringung von p-Dotierstoff (Bor) verwendet?

  1. ADiboran (B2H6) und Bortrifluorid (BF3)
  2. BPhosphin (PH3)
  3. CArsin (AsH3)
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Antwort: A. Diboran (B2H6) und Bortrifluorid (BF3)

Zum Einbringen von Bor werden Diboran (B2H6) und Bortrifluorid (BF3) verwendet. BF3 dient als Ionenquellengas der Ionenimplantation, aus dem neben B⁺ auch das schwere BF2⁺ extrahiert werden kann, das flach implantierbar ist. Diboran wird häufig verwendet, wenn bei CVD oder Epitaxie gleichzeitig Bor in den Film eingebaut werden soll. Phosphin und Arsin sind Ausgangsstoffe für die n-Dotierstoffe Phosphor und Arsen.

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