Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien)
Lernen Sie anhand von Multiple-Choice-Fragen die Grundlagen der Prozessmaterialien kennen – Spezialgase, Reinstwasser, Ätzgase, Sputtertargets und hochreines Silizium.
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Die Fragen zu diesem Thema folgen in Kürze.
Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien): Das Wichtigste
Die Halbleiterfertigung verwendet viele Materialien: hochreines Silizium, Spezialgase für Abscheidung und Ätzen, Chemikalien und Reinstwasser für die Reinigung, Sputtertargets, Fotolacke, CMP-Slurrys und mehr.
Schon winzige Mengen an Verunreinigungen können Defekte verursachen, daher müssen diese Materialien extrem rein sein. Viele der Gase sind zudem selbstentzündlich oder giftig, weshalb ein sicherer Umgang unerlässlich ist.