Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welcher Hinweis zum Umgang mit metallorganischen Verbindungen wie Trimethylgallium (TMGa), den Ausgangsstoffen für MOCVD, ist korrekt?

  1. ASie sind weder giftig noch reaktiv und sicher zu handhaben
  2. BSie senden starke Strahlung aus
  3. CSie reagieren heftig mit Luft und Wasser und können sich selbst entzünden
Antwort und Erläuterung anzeigen

Antwort: C. Sie reagieren heftig mit Luft und Wasser und können sich selbst entzünden

Metallorganische Verbindungen wie Trimethylgallium und Trimethylaluminium entzünden sich an der Luft selbst und reagieren auch heftig mit Wasser. Sie werden in einen Bubbler genannten Behälter mit konstanter Temperatur gefüllt, und der Dampf wird mit Wasserstoff oder Stickstoff transportiert. Da die Temperatur den Dampfdruck bestimmt, wird die Zufuhrmenge über Behältertemperatur und Gasdurchfluss geregelt. Sie senden keine Strahlung aus und sind auch nicht sicher zu handhaben. Sie werden bei MOCVD von GaN und GaAs verwendet.

Dieses Thema üben Zur Themenseite

Weitere Fragen zu Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

  1. Welche Reinheit bezeichnet die Angabe „6N“ für die Reinheit eines Gases?
  2. Welches Gas, das zu den in Halbleiterfabriken am meisten verbrauchten gehört, wird per Leitung als Spül- und Schutzgas zugeführt?
  3. Welcher Film wird bei der ArF-Immersionsbelichtung auf den Fotolack aufgetragen, damit das Immersionswasser den Lack nicht direkt berührt?
  4. Welches ist ein typisches Material für Low-k-Zwischenschichtdielektrika?
  5. Welches hochreine, hitzebeständige Material wird breit für Reaktionsrohre von Wärmebehandlungsöfen und Wafer tragende Vorrichtungen verwendet?