Was ist Arsin (AsH3)?

Gasförmige Verbindung aus Arsen und Wasserstoff, die zum Einbringen von n-Dotierstoff (Arsen) und zum Züchten von Verbindungshalbleitern wie GaAs dient. Sie ist extrem giftig.

Japanische Bezeichnung: アルシン(AsH3)

Fachgebiet: Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien)

Verwandte Begriffe

Massendurchflussregler (MFC) Monosilan (SiH4) NF3 (Stickstofftrifluorid) Phosphin (PH3) Präkursor (precursor) Reinstwasser Spezialgase (specialty gases) TMAH

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