Was ist Epitaxie (epitaktisches Wachstum)?

Eine Technik, bei der eine einkristalline dünne Schicht auf einem einkristallinen Substrat mit derselben Kristallorientierung wie das Substrat aufgewachsen wird.

Japanische Bezeichnung: エピタキシャル成長

Fachgebiet: Epitaktisches Wachstum

Verwandte Begriffe

4H-SiC Autodotierung Durchstoßversetzung (Threading Dislocation) Fehlpassungsversetzung (Misfit Dislocation) Gitterfehlanpassung Heteroepitaxie HVPE (Hydrid-Gasphasenepitaxie) Kritische Schichtdicke Laterales epitaktisches Überwachsen (ELO) MBE (Molekularstrahlepitaxie)

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