Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welches Gas dient bei Epitaxie und Wärmebehandlung als Trägergas und reduzierende Atmosphäre?

  1. AOzon
  2. BWasserstoff (H2)
  3. CChlor
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Antwort: B. Wasserstoff (H2)

Wasserstoff wird als Trägergas für die Ausgangsstoffe der Epitaxie und als reduzierende Atmosphäre verwendet, die vor dem Wachstum bei hoher Temperatur das natürliche Oxid der Oberfläche entfernt. Das Tempern in Formiergas, bei dem einige % Wasserstoff mit Stickstoff verdünnt sind, sättigt freie Bindungen an der Si/SiO2-Grenzfläche mit Wasserstoff und verringert Grenzflächenzustände. Da in Luft ab etwa 4 % Explosionsgefahr besteht, wird er unter Leckerkennung verwendet. Ozon und Chlor sind oxidierende Gase.

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