Welche Gaskombination ist zum Betrieb eines ArF-Excimerlasers geeignet?

Antwort: C. Argon und Fluor (einschließlich eines Puffergases wie Neon)

Ein ArF-Excimerlaser regt durch Entladung ein Gasgemisch aus kleinen Mengen Argon und Fluor an, die mit Neon als Puffergas verdünnt sind, und gibt Licht mit 193 nm Wellenlänge ab. Ein Excimer ist ein Molekül (excited dimer), das nur im angeregten Zustand gebunden ist und im Grundzustand zerfällt, sodass ultraviolettes Licht effizient gewonnen werden kann. KrF-Excimerlaser (248 nm) verwenden Krypton und Fluor. Mit Sauerstoff und Stickstoff oder Wasserstoff und Helium entsteht kein Licht von 193 nm.