Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welche Reinheit bezeichnet die Angabe „6N“ für die Reinheit eines Gases?

  1. A99.9999 %
  2. B96 %
  3. C99.6 %
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Antwort: A. 99.9999 %

Bei Reinheitsangaben steht „N“ für die Zahl der Neunen (nine); 6N sind sechs Neunen, 99.9999 %. Die Verunreinigungen betragen insgesamt 0.0001 %, also höchstens 1 ppm. 96 % und 99.6 % sind falsche Lesarten, bei denen die Ziffer 6 ans Ende oder in die Mitte gesetzt wird. Endet die Angabe auf 5 wie 99.9995 %, schreibt man 5N5. Bei Spezialgasen für Halbleiter wird häufig eine Reinheit von mindestens 6N verlangt.

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